晶圓顯微鏡自動定位載物台

來富科技	自動化測試晶圓顯微鏡自動定位平台

外觀圖

(不含晶圓顯微鏡)

本定位平台係作為晶圓顯微檢查精密定位用途。
可取代原來以人手操作載物台之定位方式，定位作業由耗時耗神易錯變為精準快速。使外觀檢查作業合理化省力化。
載物台採用鋁合金材料經陽極表面處理，適合無塵室環境。行程設計配合晶圓尺寸。
本定位系統由精密運動元件組成，提供 X, Y, Z, q 四方向之運動定位，Z軸提供精密對焦功能，q軸提供晶圓角度調整功能，
定位重現度達 5 mm
本定位平台可圓滿銜接晶圓顯微鏡及晶圓裝載器，
不須更改其機構，且設有嚴密防撞防呆保護措施。

軟體功能

晶圓之各種相關尺寸，如晶蕊間距(Die Pitch)可設定成 Recipe，方便操作。

檢查結果報表輸出，記錄不合格位置及缺陷資料。
可附加即時影像擷取功能。

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外觀圖 (不含晶圓顯微鏡)	本定位平台係作為晶圓顯微檢查精密定位用途。可取代原來以人手操作載物台之定位方式，定位作業由耗時耗神易錯變為精準快速。使外觀檢查作業合理化省力化。載物台採用鋁合金材料經陽極表面處理，適合無塵室環境。行程設計配合晶圓尺寸。本定位系統由精密運動元件組成，提供 X, Y, Z, q 四方向之運動定位，Z軸提供精密對焦功能，q軸提供晶圓角度調整功能，定位重現度達 5 mm 本定位平台可圓滿銜接晶圓顯微鏡及晶圓裝載器，不須更改其機構，且設有嚴密防撞防呆保護措施。

軟體功能	晶圓之各種相關尺寸，如晶蕊間距(Die Pitch)可設定成 Recipe，方便操作。檢查結果報表輸出，記錄不合格位置及缺陷資料。可附加即時影像擷取功能。