来富科技	产业控制及自动化软件   晶圆显微镜检查定位平台

概 述

• 本定位平台系作为晶圆显微检查定位用途。
• 可取代原来以人手从事之定位方式，
  定位作业由耗时耗神易错变为精准快速。
  使外观检查作业合理化省力化。
• 机台采用铝合金材料经阳极表面处理，
  适合无尘室环境。
• 本定位系统由精密运动元件组成，
  提供 X, Y, Z, θ四方向之运动定位，
  Z轴提供精密对焦功能，θ轴提供晶圆角度调整功能，
  定位重现度达 5 μm
• 本定位平台可圆满衔接晶圆显微镜及晶圆装载器，
  不须更改其机构，且设有严密防撞防呆保护措施。
• 晶圆之各种相关尺寸(如 Die Pitch)可设定成 Recipe，方便操作。
  
• 检查结果报表输出，记录不合格位置及缺陷资料。
• 可附加即时影像撷取功能。